一 概述 ·............................................................................................ ( 1 )
二 技术要求 ·...................................................................................... (1)
三 检定条件 ....................................................................................... ( 2 )
四 检定项目和检定方法 ·....................................................................... (2
五 检定结果的处理和检定周期 ·.............................................................. ( 5 )
附录1 电子探针分析仪检定记录 ············，······················，·····。。·，…… (6)
附录2 检定证书背面格式 ·····················，····················，···················，…… (8)
一 概 述
电子探针主要用于测定固体样品中微小区域内原子序数从 5号 (硼)至92号 (铀)
元素的种类和含量，同时可以用于分析样品表面的形貌。其原理是:用细聚焦一定能量
的电子束轰击样品，样品在电子的作用下产生X射线、二次电子等信息。用波谱仪将
X射线按波长进行分散，并测定特征 X射线的强度。根据特征X射线的波长确定元素
的种类;根据特征 X射线的强度进行修正计算，确定元素的含量。用二次电子成像分
析表面形貌。
电子探针主要由电子光学系统、X射线色散系统、信号接收放大和显示系统、计算
机系统、真空系统、供电系统等部分组成。
二 技 术 要 求
电子探针按其性能分为一级、二级、三级。
外观
标明仪器名称、型号、制造单位、出厂日期、出厂编号等;两板上的标记清晰;部
件装配牢固;导线连接可靠;无影响计量性能的损伤;操作自如，运转正常。
2 放大倍数示值误差
一级不超过士5%;二级不超过士10%;三级不超过士20%.
3 二次电子像分辨力
一级不大于10 nm;二级不大于20 nm;三级不大于50 nmo
4 探针束流稳定度
一级不大于3X10一3;二级不大于5X10一3;三级不大于10 X 10一3
5 束斑位置稳定度
一级不大于0.5 tAm;二级不大于1 tm;三级不大于2 jAma
6 样品台重复性
一级不超过1 [Lm;二级不超过2 [Lm;三级不超过5 lzmo
7 X射线强度重复性
一级不大于196;二级不大于2 ;三级不大于4%o
8 合金定量分析误差
一级不超过士1.596;二级不超过士3 ;三级不超过士6%.
