目 录
概 述 ·......................................................................................... ( T )
二三四五
技术要求 ·················································································…… (4)
检定项目和检定条件 ··································································……(7)
检定方法 ··……:’’······································································…… (7)
检定结果的处理和检定周期 ·························································…… (TO)
13 A型分辨力板的基线间距
采用测量准确度为1 ram的万能工具显微镜，对A1--A5号分辨力板进行测量
采用测量准确度为0.5 rim的激光比长仪，对A6-A7号分辨力板进行测量。
测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，使图案两基线端头连线与工
作台运动方向平行。然后使目镜中的分划线对准左边一条基线的中心，得读数al，再
使分划线对准右边一条基线的中心，得读数。2，两读数之差。=一。I一。2 1，即为该对
基线的问距一次测量值。
每对基线的间距测量三次，取平均值，即为该对基线的间距实测值。两对基线的基
线间距实测值之差，即为基线间距的互差。
每对基线的间距实测值与两对基线之间的问距互差均应符合本规程第3条要求。
14 A型分辨力板的线宽
采用测量准确度为1pm的万能工具显微镜对八1-A5号板进行测量。
采用测童准确度为。.5 tm的激光比长仪对A6-A7号板进行测量。
测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，然后使目镜中的分划线依次
对准待测一组相邻两明 (或暗)线条的两侧，得读数a，和a2，两读数之差的三分之
一，。一号一lal亏里且，即为该组相邻两线条宽度的一次测量值。对该组相令。两线条
测量三次，取平均值，即为该组相邻两线条的线宽实测值 (见图3)0
测量时，按本规程第4条规定，选定待测分辨力板的板号与测量单元号。在待测单
元中，任选三组相邻两线条明 (或暗)线进行测量。三组线条的线宽实测值的平均值，
即为该单元的线宽实测值。
测得的各单元线宽实侧值均应符合本规程第4条的规定。
巧 A型分辨力板的线条中心距
根据本规程第5条的规定，仅对Al号板其中的1, 5, 9, 13, 25诸单元进行线条
中心距的检定。
采用测量准确度为1 um的力一工显对上述单元进行测量
测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，然后使目镜中的分划线，依
次对准待测单元中任一对相邻明 (或暗)线条的中心，得读数a:和a2，两读数之差
